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干式真空泵

  • 产品分类: 干式真空泵系列
  • 生产厂家: 山东螺杆真空泵有限公司
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  • 添加时间: 19/10/08
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产品详情

应用

干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


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点击次数:   更新时间:19/10/08 17:29:10   【打印此页】   【关闭【返回上一页】
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